ZGC型真空感应气相沉积炉
主要用途 主要应用于化学气相沉积法制备碳—碳复合材料,也可做为硬质合金制品的烧结以及高温石墨化的设备。
主要组成 由炉体、炉盖、感应线圈、加热体、升降机构、工作台、真空系统、水冷系统、充气装置、压力调节装置、电源及电气控制系统等组成。
主要特点 ★容量大,温度均匀性好。 ★进出料操作简单、方便。 ★炉内压力可控。 ★定量恒定充气。 ★具有断电、断水、欠压报警、电气互锁功能。 ★全部自动程序控制和计算机控制。 ★2000年研制成功,达到国内领先水平。
真空感应气相沉积炉主要技术参数