ZGC型真空感应气相沉积炉

主要用途
主要应用于化学气相沉积法制备碳—碳复合材料,也可做为硬质合金制品的烧结以及高温石墨化的设备。

主要组成
由炉体、炉盖、感应线圈、加热体、升降机构、工作台、真空系统、水冷系统、充气装置、压力调节装置、电源及电气控制系统等组成。

主要特点
★容量大,温度均匀性好。
★进出料操作简单、方便。
★炉内压力可控。
★定量恒定充气。
★具有断电、断水、欠压报警、电气互锁功能。
★全部自动程序控制和计算机控制。
★2000年研制成功,达到国内领先水平。


真空感应气相沉积炉主要技术参数

加热体内径尺寸(直径×高度)
(mm)
中频电源输出功率(KW)
中频电源频率(Hz)
极限真空度(Pa)
ZGC2-250
¢520×2400
250
500
5
ZGSC-100
¢250×800
100
2500
6.7×10-2
ZGS1-500
¢650×1500
500
500
5
ZGC1-250
¢690×1600
250
1000
5