主要用途：软轴单晶炉,是在惰性气体环境中,以石墨电阻加热器加热,使硅半导体材料熔化,用直拉法生长无错
位单晶的设备。它可生产大规模集成电路所需要的高质量单晶。
主要组成：炉室系统、提升系统、传动系统、抽气系统、充气系统、水冷系统、加热系统、电控系统。
主要特点：温度自动控制、电机调速控制、光环法单晶直径自动控制、单晶熔体自动跟随、单晶重量及长度显
示等功能。各拉晶有关参数包括籽晶轴、坩埚轴的转动速度、晶升和埚升速度、炉内压力等数据都
采用数字显示仪表指示。能稳定的控制生长直径3—8″、直径均匀的无错位单晶。主要部位冷却水
温的检测与超温报警、冷却水欠压报警。籽晶轴、坩埚轴超程限位报警，及应急手动提升机构,电
流过流保护等。
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