主要用途
ZGD真空感应单晶炉是生产单晶合金和单晶叶片的专用设备。
主要组成
设备由炉体、抽拉机构、主辅真空系统、测温装置、加料装置、转阀传动机构、线圈、转轴、壳型加热器、液压系统、工作台及电控柜、可控硅中频电源等组成。
主要特点
★具有主、辅助真空系统,抽气速率高,真空度高。
★具有加料测温、熔炼保温、抽拉单晶、三室为一体结构。结构紧凑、合理、工作效率高,产品质量好。
★配有高温度梯度的水冷结晶器,成型单晶成品率高,质量好。
★具有宽范围高稳定抽拉调速机构。
★配有PC(计算机)+ PCL(可编程控制器)实现自动化、程序化操作。
★配有日本智能型温控仪表,控温精度高,并可编制多段工艺升温曲线。
★具有断电、断水、欠压、超温报警及电气互锁功能。
★94年获得省科技进步二等奖。